Formålet med vores varmeservice er at forbedre den termiske ydeevne af nøgleudstyr og fremstillingsprocesser hos vores halvlederkunder, styrke forskningen og udviklingen af den indenlandske halvlederindustrikæde, reducere afhængigheden af eksterne forsyningskæder, især i leveringen af nøglematerialer, udstyr og teknologier, og fremme udviklingen af den indenlandske halvlederindustri.
Opvarmningselementerne er som nedenfor:
1. Glimmer varmeplade:
2. Halvleder varmestang: Den anvendes til forskellige kammeropvarmninger, forskellige waferbehandlinger og forskellige gastransportopvarmninger
3. Halvleder varmering: Den anvendes til højradiofrekvensmiljø.
